ఎలక్ట్రానిక్ ఇంజనీరింగ్ సిస్టమ్స్‌లో అధిక స్వచ్ఛత గల గ్యాస్ పైప్‌లైన్ల అప్లికేషన్

909 ప్రాజెక్ట్ వెరీ లార్జ్ స్కేల్ ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ ఫ్యాక్టరీ అనేది తొమ్మిదవ పంచవర్ష ప్రణాళికలో 0.18 మైక్రాన్ల లైన్ వెడల్పు మరియు 200 మిమీ వ్యాసంతో చిప్‌లను ఉత్పత్తి చేయడానికి నా దేశ ఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమ యొక్క ప్రధాన నిర్మాణ ప్రాజెక్ట్.

చాలా పెద్ద-స్థాయి ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్‌ల తయారీ సాంకేతికత మైక్రో-మ్యాచింగ్ వంటి అధిక-నిర్దిష్ట సాంకేతికతలను కలిగి ఉండటమే కాకుండా, గ్యాస్ స్వచ్ఛతపై అధిక అవసరాలను కూడా కలిగి ఉంటుంది.
ప్రాజెక్ట్ 909 కోసం బల్క్ గ్యాస్ సరఫరా యునైటెడ్ స్టేట్స్ యొక్క Praxair Utility Gas Co. Ltd. మరియు షాంఘైలో సంబంధిత పార్టీల మధ్య సంయుక్తంగా గ్యాస్ ఉత్పత్తి కర్మాగారాన్ని స్థాపించడానికి జాయింట్ వెంచర్ ద్వారా అందించబడింది. గ్యాస్ ఉత్పత్తి కర్మాగారం 909 ప్రాజెక్ట్ ఫ్యాక్టరీకి ఆనుకొని ఉంది. భవనం, సుమారు 15,000 చదరపు మీటర్ల విస్తీర్ణంలో ఉంది. వివిధ వాయువుల స్వచ్ఛత మరియు అవుట్పుట్ అవసరాలు

అధిక స్వచ్ఛత నత్రజని (PN2), నైట్రోజన్ (N2), మరియు అధిక స్వచ్ఛత ఆక్సిజన్ (PO2) గాలి విభజన ద్వారా ఉత్పత్తి అవుతాయి. అధిక స్వచ్ఛత హైడ్రోజన్ (PH2) విద్యుద్విశ్లేషణ ద్వారా ఉత్పత్తి అవుతుంది. ఆర్గాన్ (Ar) మరియు హీలియం (He) అవుట్‌సోర్స్ ద్వారా కొనుగోలు చేయబడ్డాయి. ప్రాజెక్ట్ 909లో ఉపయోగం కోసం క్వాసి-గ్యాస్ శుద్ధి చేయబడింది మరియు ఫిల్టర్ చేయబడుతుంది. ప్రత్యేక గ్యాస్ సీసాలలో సరఫరా చేయబడుతుంది మరియు గ్యాస్ బాటిల్ క్యాబినెట్ ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ ప్రొడక్షన్ ప్లాంట్ యొక్క సహాయక వర్క్‌షాప్‌లో ఉంది.
ఇతర వాయువులు కూడా క్లీన్ డ్రై కంప్రెస్డ్ ఎయిర్ CDA సిస్టమ్‌ను కలిగి ఉంటాయి, వినియోగ పరిమాణం 4185m3/h, ప్రెజర్ డ్యూ పాయింట్ -70°C మరియు వినియోగ సమయంలో గ్యాస్‌లో 0.01um కంటే ఎక్కువ కణ పరిమాణం ఉండదు. బ్రీతింగ్ కంప్రెస్డ్ ఎయిర్ (BA) సిస్టమ్, యూసేజ్ వాల్యూమ్ 90m3/h, ప్రెజర్ డ్యూ పాయింట్ 2℃, ఉపయోగించే సమయంలో గ్యాస్‌లోని కణ పరిమాణం 0.3um కంటే ఎక్కువ కాదు, ప్రాసెస్ వాక్యూమ్ (PV) సిస్టమ్, వినియోగ పరిమాణం 582m3/h, ఉపయోగం పాయింట్ వద్ద వాక్యూమ్ డిగ్రీ -79993Pa . క్లీనింగ్ వాక్యూమ్ (HV) సిస్టమ్, యూసేజ్ వాల్యూమ్ 1440m3/h, యూజ్ పాయింట్ వద్ద వాక్యూమ్ డిగ్రీ -59995 Pa. ఎయిర్ కంప్రెసర్ గది మరియు వాక్యూమ్ పంప్ రూమ్ రెండూ 909 ప్రాజెక్ట్ ఫ్యాక్టరీ ప్రాంతంలో ఉన్నాయి.

పైప్ పదార్థాలు మరియు ఉపకరణాల ఎంపిక
VLSI ఉత్పత్తిలో ఉపయోగించే గ్యాస్ చాలా ఎక్కువ శుభ్రత అవసరాలను కలిగి ఉంటుంది.అధిక స్వచ్ఛత గ్యాస్ పైప్లైన్లుసాధారణంగా శుభ్రమైన ఉత్పత్తి పరిసరాలలో ఉపయోగించబడతాయి మరియు వాటి శుభ్రత నియంత్రణ ఉపయోగంలో ఉన్న స్థలం యొక్క పరిశుభ్రత స్థాయికి అనుగుణంగా లేదా అంతకంటే ఎక్కువ ఉండాలి! అదనంగా, అధిక-స్వచ్ఛత గ్యాస్ పైప్‌లైన్‌లు తరచుగా శుభ్రమైన ఉత్పత్తి పరిసరాలలో ఉపయోగించబడతాయి. స్వచ్ఛమైన హైడ్రోజన్ (PH2), అధిక స్వచ్ఛత ఆక్సిజన్ (PO2) మరియు కొన్ని ప్రత్యేక వాయువులు మండగల, పేలుడు, దహన-మద్దతు లేదా విషపూరిత వాయువులు. గ్యాస్ పైప్లైన్ వ్యవస్థ సరిగ్గా రూపొందించబడకపోతే లేదా పదార్థాలు సరిగ్గా ఎంపిక చేయబడకపోతే, గ్యాస్ పాయింట్ వద్ద ఉపయోగించిన వాయువు యొక్క స్వచ్ఛత తగ్గుతుంది, కానీ అది కూడా విఫలమవుతుంది. ఇది ప్రాసెస్ అవసరాలకు అనుగుణంగా ఉంటుంది, అయితే ఇది ఉపయోగించడం సురక్షితం కాదు మరియు శుభ్రమైన ఫ్యాక్టరీకి కాలుష్యం కలిగిస్తుంది, ఇది శుభ్రమైన ఫ్యాక్టరీ యొక్క భద్రత మరియు పరిశుభ్రతను ప్రభావితం చేస్తుంది.
ఉపయోగం సమయంలో అధిక-స్వచ్ఛత వాయువు యొక్క నాణ్యత యొక్క హామీ గ్యాస్ ఉత్పత్తి, శుద్దీకరణ పరికరాలు మరియు ఫిల్టర్ల యొక్క ఖచ్చితత్వంపై మాత్రమే ఆధారపడి ఉంటుంది, కానీ పైప్లైన్ వ్యవస్థలోని అనేక కారకాల ద్వారా కూడా చాలా వరకు ప్రభావితమవుతుంది. మేము గ్యాస్ ఉత్పత్తి పరికరాలు, శుద్దీకరణ పరికరాలు మరియు ఫిల్టర్‌లపై ఆధారపడినట్లయితే, సరికాని గ్యాస్ పైపింగ్ సిస్టమ్ డిజైన్ లేదా మెటీరియల్ ఎంపికను భర్తీ చేయడానికి అనంతమైన అధిక ఖచ్చితత్వ అవసరాలను విధించడం సరికాదు.
909 ప్రాజెక్ట్ రూపకల్పన ప్రక్రియలో, మేము “కోడ్ ఫర్ డిజైన్ ఆఫ్ క్లీన్ ప్లాంట్స్” GBJ73-84 (ప్రస్తుత ప్రమాణం (GB50073-2001)), “కంప్రెస్డ్ ఎయిర్ స్టేషన్‌ల డిజైన్ కోసం కోడ్” GBJ29-90, “కోడ్ ఆక్సిజన్ స్టేషన్ల రూపకల్పన కోసం” GB50030-91 , “హైడ్రోజన్ మరియు ఆక్సిజన్ స్టేషన్ల రూపకల్పన కోసం కోడ్” GB50177-93, మరియు పైప్‌లైన్ పదార్థాలు మరియు ఉపకరణాల ఎంపిక కోసం సంబంధిత సాంకేతిక చర్యలు. “క్లీన్ ప్లాంట్స్ డిజైన్ కోడ్” పైప్‌లైన్ మెటీరియల్స్ మరియు వాల్వ్‌ల ఎంపికను ఈ క్రింది విధంగా నిర్దేశిస్తుంది:

(1) గ్యాస్ స్వచ్ఛత 99.999% కంటే ఎక్కువ లేదా సమానంగా ఉంటే మరియు మంచు బిందువు -76°C కంటే తక్కువగా ఉంటే, 00Cr17Ni12Mo2Ti తక్కువ-కార్బన్ స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైపు (316L) ఎలక్ట్రోపాలిష్ చేసిన లోపలి గోడతో లేదా OCr18Ni9 స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైపుతో (304) ఎలక్ట్రోపాలిష్ చేసిన లోపలి గోడను ఉపయోగించాలి. వాల్వ్ డయాఫ్రాగమ్ వాల్వ్ లేదా బెలోస్ వాల్వ్ అయి ఉండాలి.

(2) గ్యాస్ స్వచ్ఛత 99.99% కంటే ఎక్కువగా లేదా సమానంగా ఉంటే మరియు మంచు బిందువు -60°C కంటే తక్కువగా ఉంటే, ఎలక్ట్రోపాలిష్ చేసిన లోపలి గోడతో కూడిన OCr18Ni9 స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ ట్యూబ్ (304)ని ఉపయోగించాలి. మండే గ్యాస్ పైప్‌లైన్‌లకు ఉపయోగించాల్సిన బెలోస్ వాల్వ్‌లు మినహా, ఇతర గ్యాస్ పైప్‌లైన్‌లకు బాల్ వాల్వ్‌లను ఉపయోగించాలి.

(3) పొడి కంప్రెస్డ్ గాలి యొక్క మంచు బిందువు -70°C కంటే తక్కువగా ఉంటే, పాలిష్ చేసిన లోపలి గోడతో కూడిన OCr18Ni9 స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైపు (304)ని ఉపయోగించాలి. మంచు బిందువు -40℃ కంటే తక్కువగా ఉంటే, OCr18Ni9 స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైపు (304) లేదా హాట్-డిప్ గాల్వనైజ్డ్ సీమ్‌లెస్ స్టీల్ పైపును ఉపయోగించాలి. వాల్వ్ బెలోస్ వాల్వ్ లేదా బాల్ వాల్వ్ అయి ఉండాలి.

(4) వాల్వ్ మెటీరియల్ కనెక్ట్ పైపు మెటీరియల్‌తో అనుకూలంగా ఉండాలి.

స్పెసిఫికేషన్ల అవసరాలు మరియు సంబంధిత సాంకేతిక చర్యల ప్రకారం, పైప్‌లైన్ పదార్థాలను ఎంచుకునేటప్పుడు మేము ప్రధానంగా క్రింది అంశాలను పరిశీలిస్తాము:

(1) పైపు పదార్థాల గాలి పారగమ్యత తక్కువగా ఉండాలి. వేర్వేరు పదార్థాల పైపులు వేర్వేరు గాలి పారగమ్యతను కలిగి ఉంటాయి. ఎక్కువ గాలి పారగమ్యతతో పైపులు ఎంపిక చేయబడితే, కాలుష్యం తొలగించబడదు. స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైపులు మరియు రాగి పైపులు వాతావరణంలో ఆక్సిజన్ చొచ్చుకుపోవడాన్ని మరియు తుప్పు పట్టకుండా చేయడంలో మంచివి. అయినప్పటికీ, స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైపులు రాగి పైపుల కంటే తక్కువ చురుకుగా ఉంటాయి కాబట్టి, రాగి పైపులు వాతావరణంలోని తేమను వాటి లోపలి ఉపరితలాల్లోకి చొచ్చుకుపోయేలా చేయడంలో మరింత చురుకుగా ఉంటాయి. అందువల్ల, అధిక స్వచ్ఛత గ్యాస్ పైప్లైన్ల కోసం పైపులను ఎంచుకున్నప్పుడు, స్టెయిన్లెస్ స్టీల్ పైపులు మొదటి ఎంపికగా ఉండాలి.

(2) పైపు పదార్థం యొక్క అంతర్గత ఉపరితలం శోషించబడుతుంది మరియు వాయువును విశ్లేషించడంలో చిన్న ప్రభావాన్ని కలిగి ఉంటుంది. స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైప్ ప్రాసెస్ చేయబడిన తర్వాత, దాని మెటల్ లాటిస్‌లో కొంత మొత్తంలో గ్యాస్ అలాగే ఉంచబడుతుంది. అధిక స్వచ్ఛత వాయువు గుండా వెళుతున్నప్పుడు, వాయువులోని ఈ భాగం గాలి ప్రవాహంలోకి ప్రవేశించి కాలుష్యానికి కారణమవుతుంది. అదే సమయంలో, అధిశోషణం మరియు విశ్లేషణ కారణంగా, పైప్ యొక్క అంతర్గత ఉపరితలంపై ఉన్న మెటల్ కూడా కొంత మొత్తంలో పొడిని ఉత్పత్తి చేస్తుంది, దీని వలన అధిక స్వచ్ఛత వాయువుకు కాలుష్యం ఏర్పడుతుంది. 99.999% లేదా ppb స్థాయి కంటే ఎక్కువ స్వచ్ఛత కలిగిన పైపింగ్ సిస్టమ్‌ల కోసం, 00Cr17Ni12Mo2Ti తక్కువ కార్బన్ స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైప్ (316L) ఉపయోగించాలి.

(3) రాగి పైపుల కంటే స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ గొట్టాల దుస్తులు నిరోధకత మెరుగ్గా ఉంటుంది మరియు గాలి ప్రవాహ కోత ద్వారా ఉత్పన్నమయ్యే లోహపు ధూళి చాలా తక్కువగా ఉంటుంది. పరిశుభ్రత కోసం అధిక అవసరాలు ఉన్న ఉత్పత్తి వర్క్‌షాప్‌లు 00Cr17Ni12Mo2Ti తక్కువ కార్బన్ స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైపులు (316L) లేదా OCr18Ni9 స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైపులు (304) ఉపయోగించవచ్చు, రాగి పైపులు ఉపయోగించబడవు.

(4) 99.999% లేదా ppb లేదా ppt స్థాయిల కంటే ఎక్కువ గ్యాస్ ప్యూరిటీ ఉన్న పైపింగ్ సిస్టమ్‌లకు లేదా “క్లీన్ ఫ్యాక్టరీ డిజైన్ కోడ్”లో పేర్కొన్న N1-N6 గాలి శుభ్రత స్థాయిలు ఉన్న క్లీన్ రూమ్‌లలో, అల్ట్రా-క్లీన్ పైపులు లేదాEP అల్ట్రా-క్లీన్ పైపులువాడాలి. "అల్ట్రా-స్మూత్ అంతర్గత ఉపరితలంతో శుభ్రమైన ట్యూబ్" శుభ్రం చేయండి.

(5) ఉత్పత్తి ప్రక్రియలో ఉపయోగించే కొన్ని ప్రత్యేక గ్యాస్ పైప్‌లైన్ వ్యవస్థలు అత్యంత తినివేయు వాయువులు. ఈ పైప్‌లైన్ వ్యవస్థలలోని పైపులు తప్పనిసరిగా తుప్పు-నిరోధక స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైపులను పైపులుగా ఉపయోగించాలి. లేకపోతే, తుప్పు కారణంగా పైపులు దెబ్బతింటాయి. ఉపరితలంపై తుప్పు మచ్చలు ఏర్పడినట్లయితే, సాధారణ అతుకులు లేని ఉక్కు పైపులు లేదా గాల్వనైజ్డ్ వెల్డెడ్ స్టీల్ పైపులు ఉపయోగించబడవు.

(6) సూత్రప్రాయంగా, అన్ని గ్యాస్ పైప్లైన్ కనెక్షన్లు వెల్డింగ్ చేయబడాలి. గాల్వనైజ్డ్ స్టీల్ పైపుల వెల్డింగ్ అద్దము పొరను నాశనం చేస్తుంది కాబట్టి, శుభ్రమైన గదులలో పైపుల కోసం గాల్వనైజ్డ్ స్టీల్ పైపులు ఉపయోగించబడవు.

పైన పేర్కొన్న అంశాలను పరిగణనలోకి తీసుకుంటే, &7& ప్రాజెక్ట్‌లో ఎంపిక చేయబడిన గ్యాస్ పైప్‌లైన్ పైపులు మరియు కవాటాలు క్రింది విధంగా ఉన్నాయి:

అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన నైట్రోజన్ (PN2) సిస్టమ్ పైపులు 00Cr17Ni12Mo2Ti తక్కువ-కార్బన్ స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైపులతో (316L) ఎలక్ట్రోపాలిష్ చేసిన లోపలి గోడలతో తయారు చేయబడ్డాయి మరియు కవాటాలు అదే పదార్థం యొక్క స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ బెలోస్ వాల్వ్‌లతో తయారు చేయబడ్డాయి.
నైట్రోజన్ (N2) సిస్టమ్ పైపులు 00Cr17Ni12Mo2Ti తక్కువ-కార్బన్ స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైపులతో (316L) ఎలక్ట్రోపాలిష్ చేసిన లోపలి గోడలతో తయారు చేయబడ్డాయి మరియు కవాటాలు అదే పదార్థం యొక్క స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ బెలోస్ వాల్వ్‌లతో తయారు చేయబడ్డాయి.
అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన హైడ్రోజన్ (PH2) సిస్టమ్ పైపులు 00Cr17Ni12Mo2Ti తక్కువ-కార్బన్ స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైపులతో (316L) ఎలక్ట్రోపాలిష్ చేసిన లోపలి గోడలతో తయారు చేయబడ్డాయి మరియు కవాటాలు అదే పదార్థం యొక్క స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ బెలోస్ వాల్వ్‌లతో తయారు చేయబడ్డాయి.
అధిక-స్వచ్ఛత ఆక్సిజన్ (PO2) సిస్టమ్ పైపులు 00Cr17Ni12Mo2Ti తక్కువ-కార్బన్ స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైపులతో (316L) ఎలక్ట్రో-పాలిష్ చేసిన లోపలి గోడలతో తయారు చేయబడ్డాయి మరియు కవాటాలు అదే పదార్థం యొక్క స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ బెలోస్ వాల్వ్‌లతో తయారు చేయబడ్డాయి.
ఆర్గాన్ (Ar) సిస్టమ్ పైపులు 00Cr17Ni12Mo2Ti తక్కువ-కార్బన్ స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైపులతో (316L) ఎలక్ట్రోపాలిష్ చేసిన లోపలి గోడలతో తయారు చేయబడ్డాయి మరియు అదే పదార్థం యొక్క స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ బెలోస్ వాల్వ్‌లు ఉపయోగించబడతాయి.
హీలియం (He) సిస్టమ్ పైపులు 00Cr17Ni12Mo2Ti తక్కువ-కార్బన్ స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైపులతో (316L) ఎలక్ట్రోపాలిష్ చేసిన లోపలి గోడలతో తయారు చేయబడ్డాయి మరియు కవాటాలు అదే పదార్థం యొక్క స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ బెలోస్ వాల్వ్‌లతో తయారు చేయబడ్డాయి.
క్లీన్ డ్రై కంప్రెస్డ్ ఎయిర్ (CDA) సిస్టమ్ పైపులు OCr18Ni9 స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైపులతో (304) పాలిష్ చేసిన లోపలి గోడలతో తయారు చేయబడ్డాయి మరియు వాల్వ్‌లు అదే పదార్థం యొక్క స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ బెలోస్ వాల్వ్‌లతో తయారు చేయబడ్డాయి.
బ్రీతింగ్ కంప్రెస్డ్ ఎయిర్ (BA) సిస్టమ్ పైపులు OCr18Ni9 స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైపులతో (304) పాలిష్ చేసిన లోపలి గోడలతో తయారు చేయబడ్డాయి మరియు కవాటాలు అదే పదార్థం యొక్క స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ బాల్ వాల్వ్‌లతో తయారు చేయబడ్డాయి.
ప్రక్రియ వాక్యూమ్ (PV) సిస్టమ్ పైపులు UPVC పైపులతో తయారు చేయబడ్డాయి మరియు కవాటాలు అదే పదార్థంతో తయారు చేయబడిన వాక్యూమ్ సీతాకోకచిలుక కవాటాలతో తయారు చేయబడ్డాయి.
శుభ్రపరిచే వాక్యూమ్ (HV) వ్యవస్థ పైపులు UPVC పైపులతో తయారు చేయబడ్డాయి మరియు కవాటాలు అదే పదార్థంతో తయారు చేయబడిన వాక్యూమ్ సీతాకోకచిలుక కవాటాలతో తయారు చేయబడ్డాయి.
ప్రత్యేక గ్యాస్ సిస్టమ్ యొక్క పైపులు అన్నీ 00Cr17Ni12Mo2Ti తక్కువ-కార్బన్ స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైపులతో (316L) ఎలక్ట్రోపాలిష్ చేసిన లోపలి గోడలతో తయారు చేయబడ్డాయి మరియు కవాటాలు అదే పదార్థం యొక్క స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ బెలోస్ వాల్వ్‌లతో తయారు చేయబడ్డాయి.

3 పైప్లైన్ల నిర్మాణం మరియు సంస్థాపన
3.1 “క్లీన్ ఫ్యాక్టరీ బిల్డింగ్ డిజైన్ కోడ్”లోని సెక్షన్ 8.3 పైప్‌లైన్ కనెక్షన్‌ల కోసం క్రింది నిబంధనలను నిర్దేశిస్తుంది:
(1) పైప్ కనెక్షన్లు వెల్డింగ్ చేయబడాలి, అయితే హాట్-డిప్ గాల్వనైజ్డ్ స్టీల్ పైపులను థ్రెడ్ చేయాలి. థ్రెడ్ కనెక్షన్ల సీలింగ్ మెటీరియల్ ఈ స్పెసిఫికేషన్ యొక్క ఆర్టికల్ 8.3.3 యొక్క అవసరాలకు అనుగుణంగా ఉండాలి.
(2) స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ పైపులను ఆర్గాన్ ఆర్క్ వెల్డింగ్ మరియు బట్ వెల్డింగ్ లేదా సాకెట్ వెల్డింగ్ ద్వారా కనెక్ట్ చేయాలి, అయితే అధిక స్వచ్ఛత గల గ్యాస్ పైప్‌లైన్‌లను లోపలి గోడపై గుర్తులు లేకుండా బట్ వెల్డింగ్ ద్వారా కనెక్ట్ చేయాలి.
(3) పైప్‌లైన్‌లు మరియు పరికరాల మధ్య కనెక్షన్ పరికరాల కనెక్షన్ అవసరాలకు అనుగుణంగా ఉండాలి. గొట్టం కనెక్షన్‌లను ఉపయోగిస్తున్నప్పుడు, మెటల్ గొట్టాలను ఉపయోగించాలి
(4) పైప్‌లైన్‌లు మరియు వాల్వ్‌ల మధ్య కనెక్షన్ క్రింది నిబంధనలకు అనుగుణంగా ఉండాలి

① అధిక-స్వచ్ఛత గ్యాస్ పైప్‌లైన్‌లు మరియు వాల్వ్‌లను అనుసంధానించే సీలింగ్ మెటీరియల్ ఉత్పత్తి ప్రక్రియ మరియు గ్యాస్ లక్షణాల అవసరాలకు అనుగుణంగా మెటల్ రబ్బరు పట్టీలు లేదా డబుల్ ఫెర్రూల్స్‌ను ఉపయోగించాలి.
②థ్రెడ్ లేదా ఫ్లాంజ్ కనెక్షన్ వద్ద సీలింగ్ మెటీరియల్ పాలిటెట్రాఫ్లోరోఎథిలిన్ అయి ఉండాలి.
3.2 స్పెసిఫికేషన్ల అవసరాలు మరియు సంబంధిత సాంకేతిక చర్యల ప్రకారం, అధిక స్వచ్ఛత గ్యాస్ పైప్లైన్ల కనెక్షన్ సాధ్యమైనంతవరకు వెల్డింగ్ చేయబడాలి. వెల్డింగ్ సమయంలో డైరెక్ట్ బట్ వెల్డింగ్ను నివారించాలి. పైప్ స్లీవ్లు లేదా పూర్తయిన కీళ్ళు ఉపయోగించాలి. పైప్ స్లీవ్లు పైపుల వలె అదే పదార్థం మరియు అంతర్గత ఉపరితల సున్నితత్వంతో తయారు చేయాలి. స్థాయి, వెల్డింగ్ సమయంలో, వెల్డింగ్ భాగం యొక్క ఆక్సీకరణను నివారించడానికి, స్వచ్ఛమైన రక్షిత వాయువును వెల్డింగ్ పైపులోకి ప్రవేశపెట్టాలి. స్టెయిన్లెస్ స్టీల్ పైపుల కోసం, ఆర్గాన్ ఆర్క్ వెల్డింగ్ను ఉపయోగించాలి మరియు అదే స్వచ్ఛత యొక్క ఆర్గాన్ వాయువును పైపులోకి ప్రవేశపెట్టాలి. థ్రెడ్ కనెక్షన్ లేదా థ్రెడ్ కనెక్షన్ తప్పనిసరిగా ఉపయోగించాలి. అంచులను కలుపుతున్నప్పుడు, థ్రెడ్ కనెక్షన్ల కోసం ఫెర్రూల్స్ ఉపయోగించాలి. ఆక్సిజన్ పైపులు మరియు హైడ్రోజన్ పైపులు తప్ప, మెటల్ గ్యాస్కెట్లను ఉపయోగించాలి, ఇతర పైపులు పాలిటెట్రాఫ్లోరోఎథిలిన్ రబ్బరు పట్టీలను ఉపయోగించాలి. రబ్బరు పట్టీలకు తక్కువ మొత్తంలో సిలికాన్ రబ్బరును వర్తింపజేయడం కూడా ప్రభావవంతంగా ఉంటుంది. సీలింగ్ ప్రభావాన్ని మెరుగుపరచండి. ఫ్లాంజ్ కనెక్షన్లు చేసినప్పుడు ఇలాంటి చర్యలు తీసుకోవాలి.
సంస్థాపన పని ప్రారంభించే ముందు, పైపుల యొక్క వివరణాత్మక దృశ్య తనిఖీ,అమరికలు, కవాటాలు మొదలైనవి తప్పనిసరిగా నిర్వహించబడాలి. సాధారణ స్టెయిన్లెస్ స్టీల్ పైపుల లోపలి గోడ సంస్థాపనకు ముందు ఊరగాయ చేయాలి. ఆక్సిజన్ పైప్లైన్ల పైపులు, అమరికలు, కవాటాలు మొదలైనవి చమురు నుండి ఖచ్చితంగా నిషేధించబడాలి మరియు సంస్థాపనకు ముందు సంబంధిత అవసరాలకు అనుగుణంగా ఖచ్చితంగా క్షీణించబడాలి.
సిస్టమ్‌ను ఇన్‌స్టాల్ చేసి, వినియోగంలోకి తీసుకురావడానికి ముందు, పంపిణీ చేయబడిన అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన గ్యాస్‌తో ట్రాన్స్‌మిషన్ మరియు డిస్ట్రిబ్యూషన్ పైప్‌లైన్ వ్యవస్థను పూర్తిగా ప్రక్షాళన చేయాలి. ఇది వ్యవస్థాపన ప్రక్రియలో అనుకోకుండా సిస్టమ్‌లోకి పడిపోయిన ధూళి కణాలను ఊడిపోవడమే కాకుండా, పైప్‌లైన్ వ్యవస్థలో ఎండబెట్టడం పాత్రను పోషిస్తుంది, పైపు గోడ మరియు పైపు పదార్థం ద్వారా గ్రహించిన తేమ-కలిగిన వాయువులో కొంత భాగాన్ని కూడా తొలగిస్తుంది.

4. పైప్లైన్ ఒత్తిడి పరీక్ష మరియు అంగీకారం
(1) వ్యవస్థను వ్యవస్థాపించిన తర్వాత, ప్రత్యేక గ్యాస్ పైప్‌లైన్‌లలో అత్యంత విషపూరిత ద్రవాలను రవాణా చేసే పైపుల యొక్క 100% రేడియోగ్రాఫిక్ తనిఖీ నిర్వహించబడుతుంది మరియు వాటి నాణ్యత స్థాయి II కంటే తక్కువగా ఉండకూడదు. ఇతర పైపులు నమూనా రేడియోగ్రాఫిక్ తనిఖీకి లోబడి ఉండాలి మరియు నమూనా తనిఖీ నిష్పత్తి 5% కంటే తక్కువ ఉండకూడదు, నాణ్యత గ్రేడ్ III కంటే తక్కువగా ఉండకూడదు.
(2) నాన్-డిస్ట్రక్టివ్ ఇన్‌స్పెక్షన్‌లో ఉత్తీర్ణత సాధించిన తర్వాత, ఒత్తిడి పరీక్షను నిర్వహించాలి. పైపింగ్ వ్యవస్థ యొక్క పొడి మరియు పరిశుభ్రతను నిర్ధారించడానికి, హైడ్రాలిక్ పీడన పరీక్షను తప్పనిసరిగా నిర్వహించకూడదు, కానీ వాయు ఒత్తిడి పరీక్షను ఉపయోగించాలి. శుభ్రమైన గది యొక్క పరిశుభ్రత స్థాయికి సరిపోయే నత్రజని లేదా సంపీడన గాలిని ఉపయోగించి వాయు పీడన పరీక్షను నిర్వహించాలి. పైప్‌లైన్ యొక్క పరీక్ష పీడనం డిజైన్ ఒత్తిడి కంటే 1.15 రెట్లు ఉండాలి మరియు వాక్యూమ్ పైప్‌లైన్ యొక్క పరీక్ష పీడనం 0.2MPa ఉండాలి. పరీక్ష సమయంలో, ఒత్తిడిని క్రమంగా మరియు నెమ్మదిగా పెంచాలి. ఒత్తిడి పరీక్ష ఒత్తిడిలో 50%కి పెరిగినప్పుడు, అసాధారణత లేదా లీకేజీ కనుగొనబడకపోతే, పరీక్ష ఒత్తిడిలో 10% ఒత్తిడిని దశలవారీగా పెంచడం కొనసాగించండి మరియు పరీక్ష పీడనం వరకు ప్రతి స్థాయిలో 3 నిమిషాలు ఒత్తిడిని స్థిరీకరించండి. . ఒత్తిడిని 10 నిమిషాలు స్థిరీకరించండి, ఆపై డిజైన్ ఒత్తిడికి ఒత్తిడిని తగ్గించండి. లీక్ డిటెక్షన్ అవసరాలకు అనుగుణంగా ఒత్తిడి స్టాప్ సమయం నిర్ణయించబడాలి. లీకేజీ లేనట్లయితే ఫోమింగ్ ఏజెంట్ అర్హత పొందుతుంది.
(3) వాక్యూమ్ సిస్టమ్ ఒత్తిడి పరీక్షలో ఉత్తీర్ణత సాధించిన తర్వాత, అది డిజైన్ పత్రాల ప్రకారం 24-గంటల వాక్యూమ్ డిగ్రీ పరీక్షను కూడా నిర్వహించాలి మరియు ఒత్తిడి రేటు 5% కంటే ఎక్కువ ఉండకూడదు.
(4) లీకేజ్ పరీక్ష. ppb మరియు ppt గ్రేడ్ పైప్‌లైన్ సిస్టమ్‌ల కోసం, సంబంధిత స్పెసిఫికేషన్‌ల ప్రకారం, లీకేజీని క్వాలిఫైడ్‌గా పరిగణించకూడదు, అయితే డిజైన్ సమయంలో లీకేజ్ మొత్తం పరీక్ష ఉపయోగించబడుతుంది, అంటే గాలి బిగుతు పరీక్ష తర్వాత లీకేజ్ మొత్తం పరీక్ష నిర్వహించబడుతుంది. ఒత్తిడి పని ఒత్తిడి, మరియు ఒత్తిడి 24 గంటలు నిలిపివేయబడుతుంది. సగటు గంట లీకేజీ అర్హత ప్రకారం 50ppm కంటే తక్కువ లేదా సమానంగా ఉంటుంది. లీకేజీ యొక్క గణన క్రింది విధంగా ఉంది:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
సూత్రంలో:
ఒక-గంట లీకేజీ (%)
P1-పరీక్ష ప్రారంభంలో సంపూర్ణ ఒత్తిడి (Pa)
P2-పరీక్ష చివరిలో సంపూర్ణ ఒత్తిడి (Pa)
T1-పరీక్ష ప్రారంభంలో సంపూర్ణ ఉష్ణోగ్రత (K)
T2-పరీక్ష చివరిలో సంపూర్ణ ఉష్ణోగ్రత (K)